เครื่องมือซ่อมแซมปลายโพรบแบ่งตามประเภทของโพรบและระดับของการสร้างทู่เป็นหลัก ได้แก่เครื่องมือทำความสะอาดทางกายภาพ อุปกรณ์ทำความสะอาดด้วยสารเคมี อุปกรณ์ซ่อมแซมเคมีไฟฟ้า และเครื่องมือวินิจฉัยเฉพาะทาง เครื่องมือเหล่านี้ใช้เพื่อคืนค่าประสิทธิภาพของโพรบที่มีการพาสซีฟอย่างอ่อนโยน หรือเพื่อพิจารณาว่าจำเป็นต้องเปลี่ยนโพรบหรือไม่
I. เครื่องมือทำความสะอาดทางกายภาพ: เหมาะสำหรับการปนเปื้อนพื้นผิวหรือการเกิดออกซิเดชันเล็กน้อย
1. เครื่องมือขัดละเอียดพิเศษ-
กระดาษทรายละเอียดพิเศษ- (2000 กรวดขึ้นไป): ใช้เพื่อขัดชั้นออกไซด์ของพื้นผิวบนโพรบโลหะ (เช่น หมุด Pogo หรือสายวัดทดสอบมัลติมิเตอร์) เพื่อคืนสภาพการนำไฟฟ้า
ผ้าสำลี-ฟรี + ไอโซโพรพิลแอลกอฮอล์ (IPA): ใช้เพื่อเช็ดคราบบนปลายโพรบ ใช้งานง่ายและเหมาะสำหรับการรักษาที่ไซต์-อย่างรวดเร็ว
เครื่องขัดแบบควบคุมด้วยไมโคร-: ช่วยให้สามารถขัดโพรบได้ภายใต้การควบคุมด้วยกล้องจุลทรรศน์ เพื่อป้องกันการสึกหรอมากเกินไป
สถานการณ์ที่เกี่ยวข้อง: การบำรุงรักษาขาวัดทดสอบทางอุตสาหกรรมและเข็มซ่อมวงจรเป็นประจำ
2. เครื่องมือไหลเวียนของอากาศและการแปรงฟัน
ปืนเป่าลมไนโตรเจน: ขจัดฝุ่นที่เกาะอยู่ที่ปลายโพรบ ป้องกันการปนเปื้อนทุติยภูมิ
เครื่องทำความสะอาดอัลตราโซนิก: ใช้ร่วมกับน้ำยาทำความสะอาดเพื่อกำจัดอนุภาคและสารตกค้างอินทรีย์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ครั้งที่สอง อุปกรณ์ซ่อมแซมเคมีและเคมีไฟฟ้า: การกำจัดชั้นออกไซด์อย่างมีเป้าหมาย
1. น้ำยาทำความสะอาดสารเคมี
เจือจางกรดไฮโดรคลอริกหรือสารละลายกรดซิตริก: ใช้ในการแช่หัววัดโลหะ (เช่น ทังสเตน เบริลเลียมคอปเปอร์) เพื่อละลายออกไซด์ของพื้นผิว
น้ำมันทำความสะอาดหัววัดอิเล็กทรอนิกส์แบบพิเศษ: ผลิตภัณฑ์ที่มีจำหน่ายทั่วไป (เช่น DeoxIT D5) ที่สามารถขจัดฟิล์มออกไซด์ได้อย่างปลอดภัยโดยไม่ทำลายวัสดุพื้นผิว
หมายเหตุ: ไม่เหมาะสำหรับโพรบ AFM ที่ใช้ซิลิคอน- เนื่องจากอาจกัดกร่อนโครงสร้างคานยื่นได้
2. อุปกรณ์ซ่อมแซมเคมีไฟฟ้า
-ระบบอิเล็กโทรไลซิสปัจจุบันที่ควบคุม: กำจัดชั้นออกไซด์โดยการปรับแรงดันไฟฟ้าและความเข้มข้นของอิเล็กโทรไลต์โดยไม่เปลี่ยนรูปทรงเรขาคณิตของโพรบ
ไมโคร-เซลล์อิเล็กโทรไลต์: ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับโพรบที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางละเอียด- เพื่อให้สามารถทำความสะอาดเฉพาะจุดได้
ข้อดี: ความแม่นยำในการทำความสะอาดสูงและความเสียหายน้อยที่สุด เหมาะสำหรับการบำรุงรักษาโพรบ-ที่มีมูลค่าสูง
III. เทคนิคการประมวลผลเฉพาะทางสำหรับโพรบระดับนาโน (ไม่ใช่สำหรับใช้ในบ้าน)
1. เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า
ใช้พลาสมาออกซิเจนในการย่อยสลายสารปนเปื้อนอินทรีย์ ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการทำความสะอาดเกรดห้องปฏิบัติการ-ของ AFM และโพรบเซมิคอนดักเตอร์
เพิ่มปฏิกิริยาของทิปได้อย่างมีประสิทธิภาพและคืนสภาพการนำไฟฟ้าของพื้นผิว
2. การลับคมลำแสงไอออนโฟกัส (FIB)
"แกะสลัก" ปลายทื่อในระดับอะตอม{0}}เพื่อสร้างโปรไฟล์ที่เฉียบคมอีกครั้ง
เทคนิคการวิจัยระดับสูง-ที่เกี่ยวข้องกับต้นทุนจำนวนมาก ซึ่งจำกัดให้ใช้ในสถานการณ์พิเศษเท่านั้น
ข้อจำกัดในทางปฏิบัติ: อุปกรณ์ FIB มีราคาแพงและซับซ้อนในการใช้งาน เนื่องจากขาดคุณค่าสากลในการแก้ปัญหาการซ่อมแซม และโดยทั่วไปจะประหยัดและเชื่อถือได้น้อยกว่าการเปลี่ยนโพรบใหม่
IV. โพสต์-เครื่องมือยืนยันการซ่อม: รับรองว่าตรงตามมาตรฐานประสิทธิภาพ
1. กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM)
สังเกตสัณฐานวิทยาของทิปโดยตรงเพื่อตรวจสอบว่ารัศมีความโค้งกลับคืนมาหรือไม่
ทำหน้าที่เป็นวิธีการที่เชื่อถือได้มากที่สุดในห้องปฏิบัติการเพื่อประเมินความทื่อของปลาย
2. อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์แสงสีขาว / การสอบเทียบด้วยตนเอง AFM-
ประเมินสภาพของโพรบโดยอ้อมผ่านการสร้างพื้นผิวใหม่ 3 มิติหรือการถ่ายภาพตัวอย่างมาตรฐาน
เหมาะสำหรับการตรวจสอบเป็นประจำในสภาพแวดล้อมที่ SEM ไม่พร้อมใช้งาน
3. วิธีทดสอบตัวอย่างมาตรฐาน
ใช้ตัวอย่างที่มีโครงสร้างที่ทราบ (เช่น HOPG, มาตรฐานตะแกรงเลี้ยวเบน) สำหรับการสแกนเปรียบเทียบ
หากภาพที่ได้มีความชัดเจนและไม่มีส่วนที่ผิดปกติ แสดงว่าโพรบทำงานได้ตามปกติ
